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超精密零件加工精度以纳米，甚至后面以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，超精密零件切削加工方法已不能适应，必要借助特种精密零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精密加工的目的。相互关系：通常在设计机器零件及规定零件加工精度时，应注意将形状误差控制在位置公差内，位置误差又应小于尺寸公差。属于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。

零件加工精度因素分析的必要性：在机械加工过程中，每一个产品都是由若干零件装配而成的，因而零件的加工质量是整台机器的基础，它直接影响机器的性能和寿命。有很多因影响零件后面的加工质量，如何使工件加工达到质量要求，如何减少各种因素对加工精度的影响，提高工件的加工质量，就成为必须考虑的事情，也就是要对影响机械加工精度的因素进行分析。4．粗车→半精车→粗磨→精磨→研磨、超精加工、砂带磨、镜面磨、或抛光在2的基础上进一步精加工。

精密零件加工的工艺分析，其主要内容有:

(1)精密零件加工厂家告诉你，检查零件的图纸是否完整和正确，分析零件主要表而的精度、表而完整性、技术要求等在现有生产条件下能否达到。

(2)检查零件材料的选择是否恰当，是否会使工艺变得困难和复杂。

审查零件的结构工艺性，检查零件结构是否能经济地、有效地加工出来。

常用的工艺文件有以下几种。

(1)机械加工工艺过程卡片，其主要作用是简要说明机械加工的工艺路线。

(2)机械加工工序卡片:要求工艺文件尽可能地详细、完整，除了有工序目录以外，还有每道工序的工序卡片。